在病理组织学上诊断分化好的鳞癌，主要是依据显微镜下的特点，比如在分化好的鳞状细胞癌的癌巢当中，细胞间可以见到细胞间桥，在癌巢的中央可以出现层状的角化物，称为角化珠或者癌珠，癌细胞的异型性往往并不明显，核分裂象也不多见。这些显微镜下的特点，往往和分化比较差的鳞状细胞癌之间有明显的差别，可以用来判断鳞状细胞癌分化的程度。
分化好的鳞状细胞癌往往是高分化的鳞状细胞癌，癌细胞的恶性程度相对会比较低，在病情发展的过程中，往往增殖比较慢，也不容易出现进展、扩散或者转移的情况，病人的预后往往比较好。如果这些分化好的鳞癌，在早期阶段能够接受根治性手术切除，病人在手术之后常常可以获得5-10年，还有更长时间的生存，甚至能够争取到临床治愈的机会。