肺间质纤维化的检查方法非常多，最常用的检查方法是薄层的胸部CT，从胸部CT可对肺间质纤维化做鉴别诊断，排除其它问题。此外还有肺功能检查，肺功能检查是无创且非常简易的检查方法，通过肺功能的变化进一步确诊患者是否合并有肺间质的纤维化。另外还可做气管镜的检查，做肺泡的灌洗、涂片检查。同时通过气管镜钳夹肺组织进行确诊。